全国服务咨询热线:

192-7009-5986

当前位置:首页  >  产品中心  >    >  Osaka Vacuum大阪真空  >  TG390MOsaka大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵

Osaka大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵
简要描述:

Osaka大阪真空TG390M磁悬浮轴承型复合分子泵
Osaka大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵

特点:
■轻巧设计
 ■节能
 ■分子泵停止与启动时间短
 ■附带维护警报机能
 ■低振动
 ■无需调整
 ■自动校准
 ■可控制转子旋转速度
 ■大流量排气
 ■多种通信模式
 ■符合安全规格 NRTL/SEMI-S2/CE

  • 产品型号:TG390M
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-04-19
  • 访  问  量:119

详细介绍

Osaka大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵

Osaka大阪真空磁悬浮轴承型复合分子泵


 ■轻巧设计
 ■节能
 ■分子泵停止与启动时间短
 ■附带维护警报机能
 ■低振动
 ■无需调整
 ■自动校准
 ■可控制转子旋转速度
 ■大流量排气
 ■多种通信模式
 ■符合安全规格 NRTL/SEMI-S2/CE


用途

・半导体制造

・电子枪排气,离子源排气
・FPD制造
・表面处理,表面改质
・各种电子部件的制造
・分析,试验装置
・管球制造,光学部件制造
・加速器,放射线设施,核聚变研究
・热处理
・研究开发




吸气口法兰VG100
CF100
ISO-B100
排气速度N2 (L/s)340
N2(附加金属保护网) (L/s)320
H2 (L/s)290
最大压缩比N21×108 
H24.5×103
极限压力VG・ISO-B/CF (Pa)<1×10-6 / <1×10-7 
VG・ISO-B/CF (Torr)<7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大气体流量※1N2 (sccm)2000
启动时间(min) 2~3 
停止时间(min)4~5
允许辅助压力(Pa / Torr)400 / 3
推荐辅助泵(L/min)≧160
安装角度任意 
重量VG・ISO-B/CF(kg)  14/17
特殊规格
-耐腐蚀型
-耐反应生成物型 TG-MI
-极低振动型 TG-ML
  • ※1:辅助泵的容量是320L/min情况下的最大容许流量

  • [ 使用周囲温度 ]

  • 极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度在空冷情况下是10~32℃,水冷情况下是10~40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10~35℃。

  • [ 对应气体种类 ]

  • 由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。
    关于对应的气体种类请咨询销售人员。






产品咨询

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

全国统一服务电话

19270095986

电子邮箱:209023083@qq.com

公司地址:龙华街道龙华大道906号电商集团7层

扫码加微信