华南总代理日本ULVAC爱发科 CRYO-U4H 低温真空泵
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ULVAC 爱发科 CRYO-U4H 低温真空泵的核心工作原理，是利用一个两级GM制冷机（Gifford-McMahon cryocooler）创造极低温表面，通过物理方式将气体分子“冻结"并“吸附"在泵内，从而实现超高真空。

❄️ 核心：两级GM制冷机

CRYO-U4H使用一个两级GM制冷机来产生深低温环境。这个制冷机通过外部的氦气压缩机驱动，使冷头分别达到两个不同的极低温度：

• 第一级（First Stage）：温度约为 60K - 80K。

• 第二级（Second Stage）：温度可低至 10K - 20K。

这种分级设计实现了“各司其职"的高效分工。

🎯 气体捕获机制

不同气体的冷凝/凝固点不同，两级冷头正是利用这一点来捕获不同的气体分子：

• 第一级冷头（60K-80K）：主要捕获高沸点气体。例如，水蒸气（H₂O）和油蒸气会在这一级被冷凝并固化。这一级通常还装有防辐射屏，用于阻挡外部热辐射，保护更冷的第二级。

• 第二级冷头（10K-20K）：负责捕获低沸点气体。大部分气体（如氮气N₂、氩气Ar、氧气O₂等）会在此被冷凝成固体。对于氦气（He）、氢气（H₂）和氖气（Ne）等极难冷凝的气体，第二级冷头上会附有活性炭吸附剂，通过物理吸附将它们牢牢抓住。

🔄 工作流程与系统组成

一个完整的CRYO-U4H低温泵系统主要由三部分组成：

1. 压缩机 (Compressor)：为GM制冷机提供高压氦气源。

2. 泵体 (Pump)：包含上述的两级冷头，是实际进行气体捕获的部件。

3. 连接管路 (Hose)：连接压缩机与泵体，用于氦气的循环。

其工作流程如下：

1. 制冷：启动后，压缩机驱动氦气在GM制冷机内循环，约45-50分钟后，两级冷头即可降至工作温度。

2. 抽气：真空腔体内的气体分子碰到极低温的冷头表面后，被捕获。

3. 饱和与再生：随着捕获的气体越来越多，冷头表面会逐渐饱和，抽速下降。此时，需要对低温泵进行“再生"——即停止制冷，将泵体加热，使被捕获的气体重新气化并释放出去。之后，泵可以重新冷却并开始新的工作循环。

📊 性能数据一览

下面是CRYO-U4H的部分关键性能参数，可以更直观地了解它的能力：

这种高效、清洁、无油的抽气方式，使得CRYO-U4H非常适合应用于半导体制造、光学镀膜、研究开发等对真空环境要求高的领域。