全国服务咨询热线:
135 3073 5388
135 3073 5388
相关文章
RELATED ARTICLES2026-06-09
2025-05-29
2026-02-07
2025-04-16
2026-02-28
2026-06-17
2026-04-15
2025-05-16
2025-07-17
2026-03-25
详细介绍
原厂代理日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵
原厂代理日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵
| 参数类别 | 具体参数 | HR60 规格 |
|---|---|---|
| 基本信息 | 产品型号 | HR60 |
| 产品类型 | 多级罗茨型干式真空泵 | |
| 排气性能 | 最大排气速度 (50Hz) | 62 m³/h (1030 L/min) |
| 最大排气速度 (60Hz) | 80 m³/h (1333 L/min) | |
| 极限压力 (到达压力) | 5 Pa | |
| 最大吸气压力 | 大气压 | |
| 最大排气压力 | 1 Pa ~ 大气压 | |
| 接口 | 吸气口 (CE规格) | VG50 (KF50) |
| 排气口 | KF40 | |
| 电气 | 电源 | 三相, 200V (50/60Hz), 220V (60Hz) |
| 电流 (稳定时) | 7.1 A (at 200V) | |
| 电流 (最大值) | 7.3 A (at 200V) | |
| 物理与环境 | 质量 (重量) | 180 kg |
| 冷却水 一次压力 | 0.1 ~ 0.3 MPa | |
| 冷却水出入口压差 | > 0.1 MPa | |
| 冷却水流量 | > 5.0 L/min | |
| 吹扫气 (N₂) 一次压力 | 0.1 ~ 0.5 MPa | |
| 吹扫气 (N₂) 二次压力 | 0.05 ~ 0.1 MPa | |
| N₂ 吹扫 (轴) | 5 SLM | |
| 气镇 (Gas Ballast) | 0 ~ 45 SLM |
HR60专为半导体行业的CVD（化学气相沉积） 和蚀刻（Etch） 等严苛工艺设计，其核心特点包括：
高温均热化技术：通过使泵体在高温下均匀受热，可以将工艺中产生的升华性副产物以气态形式排出，有效防止其在泵内凝结成粉尘，从而保证泵的长期稳定运行。
高安全性设计：采用屏蔽电机（Canned Motor） 形成密闭的结构，实现了氦气密封（Helium Tight），能有效防止有害气体泄漏。
出色的耐用性：泵体主要部件经过特殊的表面处理，具有高表面硬度和高耐腐蚀性，以应对腐蚀性工艺气体。
智能监控与保护：
瞬停对策：具备应对1000毫秒以内瞬时停电的能力。
通信功能：支持数据读取和集中监控，可实时掌握泵的运转状态、警告和报警信息。
简单来说，HR60是一款专为处理半导体行业严苛工艺中产生的腐蚀性或易凝结气体而设计的高性能、高可靠性的干式真空泵。
产品咨询
电子邮箱：
公司地址：龙华街道龙华大道906号电商集团7层