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详细介绍
现货供应日本ULVAC爱发科低温真空泵
现货供应日本ULVAC爱发科低温真空泵
ULVAC爱发科CRYO-U8H-U低温真空泵的核心原理,是通过制造极低温表面来“冻结"并捕获气体分子,从而获得洁净的超高真空环境。
它的工作过程主要分为三个步骤。
CRYO-U8H-U使用两级式GM制冷机(Gifford-Macmillan refrigerator)来制造低温。它使用氦气作为介质,通过一个反复进行的制冷循环来实现降温:
压缩与冷却:压缩机将氦气压缩成高压气体,并冷却至室温。
膨胀与吸热:高压氦气被导入制冷机的膨胀腔,在腔内降压膨胀(西蒙膨胀),温度急剧下降。这个降温过程会吸收热量,从而实现制冷。
循环与回温:膨胀后的低压冷氦气被排出,流回压缩机准备进行下一次压缩。通过快速重复此循环,制冷机可以持续制造并维持低温。
这个制冷循环最终将冷头(Cold Head)冷却到两个不同的温度段:
第一级(1st Stage):温度可降至80K以下(约-193°C),冷冻能力较大。
第二级(2nd Stage):温度可降至10-12K(约-261°C至-263°C),温度更低。
CRYO-U8H-U内部针对不同气体的冷凝或吸附温度,设计了不同的低温部件。
第一级(80K)——捕获“高沸点"气体
第一级冷头上安装有80K屏蔽筒和80K挡板。这个温度足以让水蒸气(H₂O) 和油蒸气等“高沸点"气体冷凝并附着在上面。同时,它们也像屏障一样,为内部更冷的部件阻挡了来自室温的热辐射。
第二级(15K)——捕获“低沸点"气体
第二级冷头上装有15K低温冷凝板。当温度低于20K时,氮气(N₂)、氧气(O₂)、氩气(Ar) 等主要空气成分的蒸气压会变得极低,从而被有效地冷凝并“冻"在这块面板上。
吸附剂——搞定“顽固"气体
对于氢(H₂)、氦(He)、氖(Ne) 等即使在15K也难以被冷凝的“顽固"气体,CRYO-U8H-U在15K冷凝板内侧涂有特殊低温吸附剂(如活性炭)。这些吸附剂在极低温下能像海绵一样,通过物理吸附将这些气体分子牢牢抓住。
低温泵在持续工作后,其低温表面会积聚越来越多的气体分子,导致抽气速度下降。这时就需要进行再生(Regeneration),即让低温泵升温,使被捕获的气体重新变成气体,再通过前级泵将它们排出。再生完成后,低温泵重新冷却,即可恢复抽气能力。
极限压力:可达 10⁻⁷ Pa (10⁻⁹ Torr)
主要抽速 (20°C):
水 (H₂O):4,000 L/s
氢气 (H₂):2,700 L/s
氮气 (N₂):1,700 L/s
氩气 (Ar):1,400 L/s
最大允许流量 (氩气):1.2×10³ Pa·L/s
总的来说,CRYO-U8H-U通过两级GM制冷机创造不同梯度的低温,并结合冷凝与吸附两种物理原理,实现了对混合气体的高效、分级捕获,最终获得洁净的超高真空环境。
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