半导体专用日本ULVAC爱发科 HR300 多级罗茨型干泵
半导体专用日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

半导体专用日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

半导体专用日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

📊 HR300 核心参数速览

✨ 核心特点与设计目标

与HR60/HR90相同，HR300同样专为半导体行业的CVD（化学气相沉积） 和蚀刻（Etch） 等严苛工艺设计，其核心特点包括：

• 高温均热化技术：通过使泵体在高温下均匀受热，将工艺中产生的升华性副产物以气态形式排出，有效防止其在泵内凝结，保证泵的长期稳定运行。

• 高安全性设计：采用屏蔽电机（Canned Motor） 形成密闭的结构，实现了氦气密封（Helium Tight），能有效防止有害气体泄漏。

• 出色的耐用性：泵体主要部件经过特殊的表面处理，具有高表面硬度和高耐腐蚀性，以应对腐蚀性工艺气体。

• 智能监控与保护：

• 瞬停对策：具备应对1000毫秒以内瞬时停电的能力。

• 通信功能：支持数据读取和集中监控，可实时掌握泵的运转状态、警告和报警信息。

⚠️ 重要操作限制

HR300（以及HR600、HR1200）请勿在吸入压力高于200Pa的条件下连续运转。这是为了防止泵温超过设定上限而触发联锁保护。

简单来说，HR300是HR系列的更大流量型号，排气速度显著提升（50Hz下达359 m³/h），同时保持了与HR60/HR90相同的高温均热化、高耐腐蚀性和智能监控等核心设计理念，适用于对工艺处理量有更高要求的场景。