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详细介绍
CVD专用日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵
CVD专用日本ULVAC爱发科多级罗茨型干泵
| 参数类别 | 具体参数 | HR600 规格 |
|---|---|---|
| 基本信息 | 产品型号 | HR600 |
| 产品类型 | 多级罗茨型干式真空泵 | |
| 排气性能 | 最大排气速度 (50Hz) | 653 m³/h (10,900 L/min) |
| 最大排气速度 (60Hz) | 701 m³/h (11,700 L/min) | |
| 极限压力 (到达压力) | 0.67 Pa | |
| 最大吸气压力 | 大气压 | |
| 最大排气压力 | 1 Pa ~ 大气压 | |
| 接口 | 吸气口 (CE规格) | VG100 (KF100) |
| 排气口 | KF40 | |
| 电气 | 电源 | 三相, 200V (50/60Hz), 220V (60Hz) |
| 电流 (稳定时) | 12.9 A (at 200V) | |
| 电流 (最大值) | 13.8 A (at 200V) | |
| 物理与环境 | 质量 (重量) | 370 kg |
| 冷却水 一次压力 | 0.1 ~ 0.3 MPa | |
| 冷却水出入口压差 | > 0.1 MPa | |
| 冷却水流量 | > 5.0 L/min | |
| 吹扫气 (N₂) 一次压力 | 0.1 ~ 0.5 MPa | |
| 吹扫气 (N₂) 二次压力 | 0.05 ~ 0.1 MPa | |
| N₂ 吹扫 (轴) | 5 SLM | |
| 气镇 (Gas Ballast) | 0 ~ 45 SLM |
与HR系列其他产品类似，HR600同样专为半导体行业的CVD（化学气相沉积） 和蚀刻（Etch） 等严苛工艺设计，其核心特点包括：
高温均热化技术：通过使泵体在高温下均匀受热，可以将工艺中产生的升华性副产物以气态形式排出，有效防止其在泵内凝结，保证泵的长期稳定运行。
高安全性设计：采用屏蔽电机（Canned Motor） 形成密闭的结构，实现了氦气密封（Helium Tight），能有效防止有害气体泄漏。
出色的耐用性：泵体主要部件经过特殊的表面处理，具有高表面硬度和高耐腐蚀性，以应对腐蚀性工艺气体。
智能监控与保护：
瞬停对策：具备应对1000毫秒以内瞬时停电的能力。
通信功能：支持数据读取和集中监控，可实时掌握泵的运转状态、警告和报警信息。
HR300、HR600、HR1200型号严禁在200Pa以上的吸入压力下连续运转。
简单来说，HR600是HR系列中的大抽速型号，适用于对真空度和工艺处理量有更高要求的场景。
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