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Osaka Vacuum大阪真空小型复合分子泵
简要描述:

Osaka Vacuum大阪真空TG50F小型复合分子泵
Osaka Vacuum大阪真空小型复合分子泵
特点:
轻巧设计
节能
迅速启动
使用破控功能可迅速停止
耐大气冲击能力强
多种通信模式

  • 产品型号:TG50F
  • 厂商性质:代理商
  • 更新时间:2025-04-19
  • 访  问  量:74

详细介绍

Osaka Vacuum大阪真空小型复合分子泵

Osaka Vacuum大阪真空小型复合分子泵


  • 全面安装

  • 轻巧设计

  • 节能

  • 迅速启动

  • 使用破控功能可迅速停止

  • 耐大气冲击能力强

  • 多种通信模式

用途

  • 半导体制造

  • 电子枪排气,离子源排气

  • FPD制造

  • 表面处理,表面改质

  • 各种电子部件的制造

  • 分析,试验装置

  • 管球制造,光学部件制造

  • 加速器,放射线设施,核聚变研究

  • 热处理

  • 研究开发

※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。


吸气口法兰VG65/ISO-R63/CF63
排气速度N2 (L/s)51
N2(附加金属保护网) (L/s)49
H2 (L/s)12
最大压缩比N21.4×107
H25×102
极限压力VG・ISO-R/CF (Pa)<3×10-6
VG・ISO-R/CF (Torr)<2.3×10-8
最大气体流量※1N2 (sccm)80
启动时间(min) 1-1.5
停止时间(min)1-1.5
允许辅助压力(Pa/Torr)1330/10
推荐辅助泵(L/min)≧50
安装角度任意
重量VG・ISO-R/CF(kg)4.2/6
  • ※1:辅助泵的容量是100L/min情况下的最大容许流量

  • [ 使用环境温度 ]

  • 极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度在空冷情况下是10~32℃,水冷情况下是10~40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10~35℃。

  • [ 对应气体种类 ]

  • 由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。


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